フォトファブリケーション

コーター

• 

  スピンコーター

• 

  減圧乾燥装置

• 

  端面洗浄装置（エッジリンス）

現像・エッチング・剥離

• 

  枚葉式／スピン式現像装置

• 

  バッチ式　シリコンウェーハエッチング装置

• 

  枚葉式スピンプロセッサー (ATOM)

• 

  枚様式／スピン式エッチング装置

• 

  枚葉式／スピン式剥離装置

• 

  大型マスクプロセッサー

炉（ベーク装置）

• 

  ベーク装置

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