ミクロ技研とは

全自動CMP装置は、ラップマスターSFT製「LGP-808XJ」の後継機種として開発されました。使用するHead開発に力を入れており、年々要求の高まる平坦度（GBIR,SFQR）の向上を実現しています。

自動包装装置（MP300）は、オペレーターにより投入場所（ローダー部）に置かれたウェハーカセット（FOSB）を検査エリア搬送します。検査エリアではホスト通信を行う事でFOSBの検査を行います。検査内容はFOSBタイプ、ウェハー位置の確認及び枚数等を検査します。包装エリアでは、1重もしくは2重の包装を行います。
従来、人手で行っていた目視検査、包装作業を自動化する事でヒューマンエラーの削減、作業時間の短縮、包装品質の均一化が行えます。

ウェハー欠陥検査装置（MICW300）は、ロードポート（FOSBオープナー）にOHTもしくはオペレーターがセットしたBOX内のウェハーを取出し各検査部で検査しOK品は元の場所にNG品はNG用のBOXへ収納します。
また、従来の目視検査からの自動化する事でヒューマンエラーの削減、作業時間の短縮が行えます。

これまでのハンドドライヤーは吹き飛ばし乾燥のため、水滴や雑菌を空気中に飛散させていました。CIRCULAは国内唯一の吸引式ハンドドライヤーとして開発され水滴や雑菌、ウィルス等の飛散を従来型と比べ99.7%減少し防ぎます。※１
新型コロナウィルス感染症で一時使用が禁止された従来型のハンドドライヤーと比べ、CIRCULAはウィルス等の飛散を防ぐ為、感染症対策としても期待されます。

※１：ハンドドライヤー吐出口上40cm地点で10秒間比較時