製品情報
PRODUCTS
炉(ベーク装置)
ベーク装置
コーティング後のレジストの乾燥、洗浄後の乾燥処理をする装置です。
用途
レジスト塗布後の乾燥工程
ワーク洗浄後の乾燥工程
特徴
- 枚葉方式から多段式まで様々な仕様に対応可能
- VCD ・端面洗浄(エッジリンス)・ CP と合わせて提案も可能
製品情報
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炉(ベーク装置)
コーティング後のレジストの乾燥、洗浄後の乾燥処理をする装置です。
用途
レジスト塗布後の乾燥工程
ワーク洗浄後の乾燥工程
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