製品情報
PRODUCTS
現像・エッチング・剥離
枚葉式スピンプロセッサー (ATOM)
シリコンウェーハのウエットプロセッサーです。
用途
研削後ウェーハのダメージ除去
対象ウェーハサイズ: ～300mm （12インチ）
特徴
- 1 チャンバーで複数種類の薬液処理及び分離回収が可能
- ヴェルヌーイチャックによる非接触処理が可能
- 個別薬液供給システム
製品情報
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現像・エッチング・剥離
シリコンウェーハのウエットプロセッサーです。
用途
研削後ウェーハのダメージ除去
対象ウェーハサイズ: ～300mm （12インチ）
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