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磨碎・抛光设备
实现硅晶片的更高集成度和更大容量的磨碎・抛光设备
照相加工设备
通过光学和化学技术在基材上制造复杂和精细形状的设备
精密印刷设备
一种通过使用印刷技术在各种衬底上形成电子电路等的设备
检查设备
一种用于自动检查硅晶片，FPD用玻璃基板等的缺陷（例如划痕，碎片，不均匀等）的设备
工厂自动化
硅片，FPD玻璃基板等制造工序的自动化/节省劳力的设备
环境相关设备
在各种制造过程中产生的废水的回收和再利用，考虑使用UFB（Ultra Fine Bubble）的环境的各种设备
