枚葉式／スピン式現像装置

基板及びフィルム上のレジストの現像処理を行う装置です。

特徴

シャワー・スプレー・ディップ (Dip) など、様々なエッチング方式に対応可能

薬液管理システムの提案も可能（ランニングコストの削減）