製品情報
PRODUCTS
コーター
スピンコーター
基板上にレジスト・ PI などの材料を塗布し、高速回転によりコーティングする装置です。
用途
レジスト塗布
絶縁膜（ポリイミドなど）塗布）
高粘度材料塗布 (800cps / 1000cps / 2000cps)
特徴
- 大型サイズまでの対応可能（ G6 / G8 / G10用マスク）
- 高粘度材料への対応可能
製品情報
PRODUCTS
コーター
基板上にレジスト・ PI などの材料を塗布し、高速回転によりコーティングする装置です。
用途
レジスト塗布
絶縁膜（ポリイミドなど）塗布）
高粘度材料塗布 (800cps / 1000cps / 2000cps)
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