減圧乾燥装置

レジスト塗布後の乾燥を真空チャンバー内で行う装置です。

特徴

スロー排気からメイン排気に切替える 2 段階排気により風紋や発泡の発生を抑えた乾燥をすることが可能

常温乾燥することにより、ピン支持部のムラを抑えた 乾燥をすることが可能

減圧乾燥することにより、ベーク行程の時間短縮をすることが可能