枚葉式／スピン式剥離装置

基板及びフィルム上のレジストを剥離する装置です。

特徴

シャワー・スプレー・ディップ (Dip) など、様々な剥離（リフトオフ）方式に対応可能

薬液管理システムの提案も可能（ランニングコストの削減）