大型マスクプロセッサー

大型化するディスプレイに応じて回路パターンを形成するフォトマスクも大型化しています。フォトマスク上に塗布されたレジストにパターン露光した後、現像処理・エッチング処理を行う装置です。
マスクプロセッサーは、ローダー/アンローダー、搬送機、スピン現像装置、スピンエッチング装置で構成された装置になります。

特徴

AGV、MGVに対応可能

複数のサイズを設定可能（マスクサイズについてはご相談ください。）

スリットノズルを採用

製品仕様スペック