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    シリコンウェーハの高集積化・大容量化を可能にする研削・研磨装置

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    光学技術と化学技術で、基板上に複雑・微細な形状を製作するための装置

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    シリコンウェーハや FPD 用ガラス基板などのキズ、欠け、ムラなどの欠陥を自動的検査する装置

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    シリコンウェーハや FPD 用ガラス基板などの製造工程の自動化/省人化のための装置

  • 環境関連装置環境関連装置

    各種製造プロセスで発生する排水の回収、再利用やUFB(ウルトラファインバブル)を利用した環境を考慮した各種装置

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