製品情報
PRODUCTS
現像・エッチング・剥離
バッチ式 シリコンウェーハエッチング装置
研削後ウェーハのダメージ除去を行う装置です。
用途
研削後ウェーハのダメージ除去
対象ウェーハサイズ: ~300mm （12インチ）
特徴
- アルカリ (KOH) エッチング液による均一なダメージ除去
- 25枚／50枚バッチ方式
- 廃液負荷の軽減
製品情報
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現像・エッチング・剥離
研削後ウェーハのダメージ除去を行う装置です。
用途
研削後ウェーハのダメージ除去
対象ウェーハサイズ: ~300mm （12インチ）
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