全自動平坦度測定機 (WAFERCOM)

シリコンウェーハの平坦度測定装置です。

特徴

非接触式センサー（上下挟み込み）にてウェーハの厚み、反り、平坦度等を測定

処理パラメーター: GBIR 、 SBIR 、 SFQR 、 BOW / WARP 等

装置にマイクログラナイト（黒ミカゲ石）を使用することで天然石特有の物理的特性を利用