ウェーハ欠陥検査装置

ウェハー欠陥検査装置（MICW300）は、ロードポート（FOSBオープナー）にOHTもしくはオペレーターがセットしたBOX内のウェハーを取出し各検査部で検査しOK品は元の場所にNG品はNG用のBOXへ収納します。
また、従来の目視検査からの自動化する事でヒューマンエラーの削減、作業時間の短縮が行えます。

特徴

C back C搬送方式による省スペース化

NG品を元のカセットに戻すかNG専用カセットに移載かの選択が可能

対象ウェハーサイズ：6～12インチに対応※1

※１サイズの混在は出来ません。

OK品、NG品の検査結果画像の保存も可能

製品仕様スペック