製品情報
PRODUCTS
外観検査装置
ウェーハ欠陥検査装置（外観検査装置）
ケミカルウェーハの欠陥検査装置です。
用途
対象ウェーハサイズ: 6～12インチ
ローダー側、アンローダー側にカセットを設置可能
NG 品は NG の種類によって、指定した NG カセットへ収納
特徴
- エッジ検査、透過検査、明視野検査、暗視野検査にてウェーハのピンホール・クラック・スクラッチ・カケなどを全自動にて検出
- タクト: およそ 20sec / 1 枚（サイクルタイム）
製品情報
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外観検査装置
ケミカルウェーハの欠陥検査装置です。
用途
対象ウェーハサイズ: 6～12インチ
ローダー側、アンローダー側にカセットを設置可能
NG 品は NG の種類によって、指定した NG カセットへ収納
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