製品情報
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ペリクル検査装置
ペリクル検査装置
光学カメラを使用しペリクルに付着した異物を検査、除去を自動で行う装置です。
用途
ペリクルの異物検査及び除去
特徴
- SMIF対応
- コンパクトケース対応
- 各種カメラを使用した自動検査
- 検査後の目視検査可能
- N2ブローによる自動異物除去
製品仕様スペック
- 装置寸法
- 2500D×33500W×2800H
- 電源
- AC208V Φ3 60Hz 50KVA
- CDA
- 20L/min
- N2
- 100L/min
- 真空
- 20NL/min -80kPa
- 排気
- 20m3/min