製品情報
PRODUCTS
外観検査装置
FOSB / 外観検査装置
ウェーハ搬送・出荷用 BOX 検査装置です。
用途
ウェーハ搬送・出荷用 BOX 検査装置
各種 FOSB タイプの BOX に対応
特徴
- 各種 FOSB タイプを自動検出
- インフォパッド／ RFID 自動認識
- FOSB 内ウェーハ在荷確認
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外観検査装置
ウェーハ搬送・出荷用 BOX 検査装置です。
用途
ウェーハ搬送・出荷用 BOX 検査装置
各種 FOSB タイプの BOX に対応
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