欠陥検査装置

FPD 用基板ガラス、フレキシブルデバイス用検査装置です。

特徴

ガラスやフレキシブルフィルムなどのワーク表面の傷、ワレ、欠け、塗布膜のムラ、異物等の欠陥検査が可能

反射方式、透過方式の両方に対応

分解能 2um ～ 400um の範囲で検出可能

ワーク上の塗布膜の膜厚測定も可能

※方式：分光干渉法