製品情報
PRODUCTS
研削装置
全自動ウェーハ研削・研磨装置（CMG-802XJ）
1台でチャック面洗浄・粗研削・仕上げ研削・研磨を全自動で行う研削・研磨複合装置。
用途
研磨・研削・ダイシングフレーム供給・テープマウント・デマウントプロセスの完全自動化装置
特徴
- 8インチ／ 12インチウエーハを 30um の厚さまで研削可能
- テープマウント／デマウント装置を含む一体型装置
製品情報
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研削装置
1台でチャック面洗浄・粗研削・仕上げ研削・研磨を全自動で行う研削・研磨複合装置。
用途
研磨・研削・ダイシングフレーム供給・テープマウント・デマウントプロセスの完全自動化装置
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