ペリクルマウンター

ペリクル（フォトマスク用防塵フィルム）の自動装着装置です。

特徴

設定された条件に従い、フォトマスクへのペリクルの装着を全自動で行います

装着後のフォトマスクをクリーンロボットが回収し、元のカセットに収納します