FOSB / FOUP自動包装装置 (MAP300)

自動包装装置（MP300）は、オペレーターにより投入場所（ローダー部）に置かれたウェハーカセット（FOSB）を検査エリア搬送します。検査エリアではホスト通信を行う事でFOSBの検査を行います。検査内容はFOSBタイプ、ウェハー位置の確認及び枚数等を検査します。包装エリアでは、1重もしくは2重の包装を行います。
従来、人手で行っていた目視検査、包装作業を自動化する事でヒューマンエラーの削減、作業時間の短縮、包装品質の均一化が行えます。

特徴

ローダー、アンローダーの貯留BOX数は柔軟に対応

投入、取出に貯留数を設ける事でオペレーターの負担削減、効率化向上が可能

BOX種類、内在するウェハー数を独自技術で検出、確認が可能

ご指定の場所にラベルの貼付けが可能

包装内にシリカゲルの投入、脱気包装が可能

製品仕様スペック