R to R 洗浄装置

フィルム（PET、PEN）・極薄ガラスなどの高精密フレキシブルデバイスの洗浄装置です。

特徴

フィルムにかかる張力を制御しフィルムへのダメージを無くします

CPC（センターポジションコントローラ）で蛇行を制御します

レーザーマーカーを使用しアライメントマークの印字する事が可能

基板上の不純物除去としてエキシマUVを使用した有機物の除去が可能

ディスクブラシ、ロールブラシ、２流体シャワー等々、目的にあった洗浄ツールの選択が可能

製品仕様スペック