製品情報
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フィルム洗浄装置
R to R 洗浄装置
フィルム(PET、PEN)・極薄ガラスなどの高精密フレキシブルデバイスの洗浄装置です。
用途
ロール状のフィルムを巻出し、各処理工程を経て乾燥し巻取りする装置です。
特徴
- フィルムにかかる張力を制御しフィルムへのダメージを無くします
- CPC(センターポジションコントローラ)で蛇行を制御します
- レーザーマーカーを使用しアライメントマークの印字する事が可能
- 基板上の不純物除去としてエキシマUVを使用した有機物の除去が可能
- ディスクブラシ、ロールブラシ、2流体シャワー等々、目的にあった洗浄ツールの選択が可能
製品仕様スペック
- 装置寸法
- 37000D×8500W×5000H
- 電源
- AC200V Φ3 50/60Hz 300KVA
- DIW
- 25L/min
- CDA
- 23,000NL/min
- N2
- 350 NL/min
- 排気1
- 2.5m3/min