製品情報
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ガラス洗浄装置
ガラス洗浄装置
フラットパネル（FPD）の大画面化、高画質化、高精密化に対する高品質の洗浄機の提供により、FPD製造の歩留まりの向上に貢献しております。
用途
受入洗浄、工程間洗浄、最終洗浄等の各工程で必要とされる洗浄装置
現像・エッチング・剥離といったフォトプロセス装置
特徴
- 豊富な納入実績を有し、大型、極薄ガラスなど多種多様なガラス基板の洗浄に対応
- 大型基板の搬送ノウハウを有し、G10サイズに対応
- 超薄型（0.005mm）ガラスサイズに対応
- ディスクブラシ、ロールブラシ、高圧・超高圧シャワー、２流体・スチーム・ナノバブル等々、目的にあった洗浄ツールの選択が可能
製品仕様スペック
- 装置寸法
- 2500D×3350W×2800H
- 電源
- AC200/AC220V Φ3 50/60Hz 200KVA
- DIW
- 100L/min
- CDA
- 50L/min
- 排水1
- 250L/min
- 排水2
- 120L/min
- 排気1
- 25m3/min×3系統
- 排気2
- 5m3/min×3系統
G10用洗浄機参考スペック