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洗浄装置
ドライクリーナー
ドライクリーナー
ドライクリーナー
処理基板は作業者による手投入/手取出しのマニュアル装置となります。
用途
ペリクル用接着剤残渣の除去
特徴
対象サイズ:6インチ 152.0±0.4mm t6.35±0.1mm
除去ツール:常圧プラズマ(AIR&O2を使用)
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