製品情報
PRODUCTS
ウェーハ洗浄装置
バッチ式 シリコンウェーハ洗浄装置
受け入れ／ファイナル（最終）洗浄装置です。
用途
バッチ式ウェーハ洗浄
対象ウェーハサイズ: ～300mm （12インチ）
特徴
- O3 / HF / SC1
- 室温洗浄（ O3 ／水素水洗浄）
- UFB （ウルトラファインバブル／ナノバブル）
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ウェーハ洗浄装置
受け入れ／ファイナル（最終）洗浄装置です。
用途
バッチ式ウェーハ洗浄
対象ウェーハサイズ: ～300mm （12インチ）
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