製品情報
PRODUCTS
ウェーハ洗浄装置
バッチ式 シリコンウェーハ洗浄装置
受け入れ/ファイナル(最終)洗浄装置です。
用途
バッチ式ウェーハ洗浄
対象ウェーハサイズ: ~300mm (12インチ)
特徴
- O3 / HF / SC1
- 室温洗浄( O3 /水素水洗浄)
- UFB (ウルトラファインバブル/ナノバブル)
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ウェーハ洗浄装置
受け入れ/ファイナル(最終)洗浄装置です。
用途
バッチ式ウェーハ洗浄
対象ウェーハサイズ: ~300mm (12インチ)
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