ベーク装置

コーティング後のレジストの乾燥、洗浄後の乾燥処理をする装置です。

特徴

枚葉方式から多段式まで様々な仕様に対応可能

VCD ・端面洗浄（エッジリンス）・ CP と合わせて提案も可能