High Resolution Inspection machine MEI Series
Reticle / Pellicle / Blanks inspection MEI-S30-A2

光学カメラを使用しペリクルに付着した異物を検査、除去を自動で行う装置です。

特徴

レチクル表面全域の異物検査

　(Pellicle, Pellicalized Masks, Blanks, Backside)
　・パーティクル / ピンホール/ダメージ/シワ検査
　・検査領域調整可能
　・カラー顕微鏡による検証レビューモジュール搭載

検出した粒子の可視化が可能

柔軟なレシピ操作

高い繰り返し精度

特殊光学系（明視野/暗視野）による高速マルチスキャン

高い装置間の測定再現性

完全自動化対応可能(EFEM/OHT/マルチポート搬送)

N2ブローによる異物除去機能搭載可能

　(自動ブローおよび手動ブロー)

製品仕様スペック