제품 정보
PRODUCTS
코터
감압건조장비
Resist 도포 후 건조를 진공챔버 내에서 실행하는 장비
용도
Resist 도포 후의 건조（VCD）
베이크 공정
특징
- slow배기에서 메인 배기로 전환하는 2단계 배기로, 풍문이나 발포 발생을 억제한 건조가 가능
- 상온 건조로 핀 지지부의 얼룩(MURA)을 억제한 건조가 가능
- 감압 건조로 베이크 공정의 시간단축이 가능
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코터
Resist 도포 후 건조를 진공챔버 내에서 실행하는 장비
용도
Resist 도포 후의 건조（VCD）
베이크 공정
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