마이크로기연은

전자동 CMP 장치는 LapMaster SFT 제품 LGP-808 XJ의 후속 모델으로 개발되었습니다.사용하는 Head 개발에 힘을 쏟고 있어, 해마다 요구가 높아지는 평탄도 (GBIR, SFQR)의 향상을 실현하고 있습니다.

자동포장장치 (MAP300)는 작업자가 투입장소(로더부)에 놓은 웨이퍼카세트(FOSB)를 검사 영역으로 반송합니다.검사 영역에서는 호스트 통신을 수행하여 FOSB 검사를 수행합니다.검사 내용은 FOSB 타입, 웨이퍼 위치의 확인 및 매수 등을 검사합니다.포장 구역에서는 1중 또는 2중 포장을 합니다.
종래 수작업으로 하던 육안 검사, 포장 작업을 자동화함으로써, 휴먼 에러의 저감, 작업 시간의 단축, 포장 품질의 균일화가 가능합니다.

웨이퍼결함 검사 장치 (MICW300)는 로드 포트(FOSB 오프너)에 OHT 또는 작업자가 셋팅한 BOX 내의 웨이퍼를 꺼내, 각 검사부에서 검사하고 OK제품은 원래 장소에, NG 제품은 NG용 BOX에 수납합니다.
또한 기존의 육안 검사를 자동화하여 휴먼 에러를 줄이고 작업 시간을 절약할 수 있습니다.

지금까지의 핸드 드라이어는 불어서 건조하기 때문에, 물방울이나 잡균을 공기 중으로 비산시키고 있었습니다.CIRCULA는 국내 유일의 흡인식핸드 드라이어로 개발되어 물방울이나 잡균, 바이러스 등의 비산을 기존 제품에 비해 99.7% 감소시켜 방지합니다.※１
코로나 바이러스 감염증으로 일시 사용이 금지된 종래형의 핸드 드라이어에 비해, CIRCULA는 바이러스 등의 비산을 막기 때문에, 감염증 대책으로도 기대됩니다.

※１：핸드드라이어 토출구 위 40cm 지점에서 10초간 비교시