매엽식 / 스핀식 박리장비

기판 및 필름 위의 Resist를 박리하는 장비

특징

샤워・스프레이ー・딥（Dip）등의 여러가지 박리（Lift-off）방식 대응 가능

약액 관리시스템 제안도 가능（런닝코스트의 삭감）