대형 마스크 프로세서

대형화하는 디스플레이에 따라 회로 패턴을 형성하는 포토 마스크도 대형화하고 있습니다.포토 마스크 위에 도포된 레지스트에 패턴노광 후, 현상 처리・에칭처리를 하는 장치입니다.
마스크 프로세서는 로더/언로더, 반송기, 스핀현상장치, 스핀에칭장치로 구성된 장치입니다.

특징

AGV、MGV에 대응 가능

여러 사이즈를 설정 가능합니다 (마스크 사이즈에 대해서는 문의 부탁드립니다.).

슬릿 노즐을 채용

제품 사양 스펙