단면세정장치 (Edge Rinse)

코팅 후의 기판 단면・배면에 들어간 도포제를 세정하는 장비

특징

기판 표면으로의 세정액 비산 방지기구

감압건조장비와의 겸용으로 단면세정효과를 UP시킬 수 있음