매엽식／스핀식 현상 장비

기판 및 필름 위에 Resist의 현상 처리를 실행하는 장비

특징

샤워・스프레이ー・딥（Dip）등의 여러가지 에칭 방식 대응 가능

약액 관리시스템 제안도 가능（런닝코스트의 삭감）