제품 정보
PRODUCTS
베이크 장비
베이크 장비
코팅 후의 Resist 건조, 세정 후의 건조 처리를 실행하는 장비
용도
Resist 도포 후의 건조 공정
기판 세정 후의 건조 공정
특징
- 매엽방식에서 다단식까지 여러가지 사양에 대응 가능
- VCD・단면 세정（Edge Rinse）・CP와 더불어 제안도 가능
제품 정보
PRODUCTS
베이크 장비
코팅 후의 Resist 건조, 세정 후의 건조 처리를 실행하는 장비
용도
Resist 도포 후의 건조 공정
기판 세정 후의 건조 공정
부담없이 문의해주세요.