Single-Wafer Spin Processor (ATOM)

실리콘 웨이퍼 습식 프로세서

특징

다중 챔버 1 개를 위해 개별적으로 치료하고 회복 할 수 있습니다.

Bernoulli 방식 척은 비접촉 전송 및 처리를 구현합니다.

개별 화학 물질 공급 시스템