제품 정보
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평탄도계
전자동 평탄도 측정기（WAFERCOM）
실리콘 Wafer 평탄도 측정장비
용도
Wafer의 두께, 평탄도를 측정
대상 Wafer 사이즈：8인치／12인치
접합 Wafer 대응
특징
- 비접촉 센서（상하 삽입）로 Wafer의 두께, 휨, 평탄도 측정
- （처리 parameter：GBIR、SBIR、SFQR、BOW/WARP 등）
- 장비에 Microgranite（검정 화강암）를 사용함으로써 천연석 특유의 물리적 특성을 이용