웨이퍼결함 검사장치

웨이퍼결함 검사 장치 (MICW300)는 로드 포트(FOSB 오프너)에 OHT 또는 작업자가 셋팅한 BOX 내의 웨이퍼를 꺼내, 각 검사부에서 검사하고 OK제품은 원래 장소에, NG 제품은 NG용 BOX에 수납합니다.
또한 기존의 육안 검사를 자동화하여 휴먼 에러를 줄이고 작업 시간을 절약할 수 있습니다.

특징

C back C전송 방식을 통한 공간 절약

NG품을 원래 카세트로 반환하거나 NG전용 카세트에 이재하는 것의 선택이 가능

대상 웨이퍼 사이즈:6~12인치에 대응※1

※１사이즈는 혼합할 수 없습니다

OK품, NG품 검사 결과 이미지 보존도 가능

제품 사양 스펙