제품 정보
PRODUCTS
외관검사장비
Wafer 결함 검사 장비（외관 검사 장비）
Chemical Wafer의 결함 검사 장비
용도
대상 Wafer 사이즈：6~12인치
Loader부 15카세트, UnLoader부 21카세트 설치 가능
NG품은 NG의 종류에 따라 지정한 NG카세트에 수납
특징
- Edge검사, 투과검사, 명시야검사, 암시야검사로 Wafer의 핀홀・크랙・스크래치・깨짐 등을 전자동으로 검출
- Tack : 약 20sec/1매 (사이클 타임)