High Resolution Inspection machine MEI Series
Reticle / Pellicle / Blanks inspection MEI-S30-A2

광학 카메라를 사용해서 펠리클에 부착한 이물을 검사, 제거를 자동으로 하는 장치입니다.

특징

레티클 표면 전역의 이물 검사

　(Pellicle, Pellicalized Masks, Blanks, Backside)
　・파티클 / 핀홀 / 데미지 / 주름 검사
　・검사 영역 조정 가능
　・컬러 현미경에 의한 검증 리뷰 모듈 탑재

검출된 입자의 시각화가 가능

유연한 레시피 조작

높은 반복 정확도

특수 광학계(명시야/암시야)에 의한 고속 멀티 스캔

높은 장치 간의 측정 재현성

완전 자동화 대응 가능(EFEM/OHT/멀티포트 반송)

N2 블로우에 의한 이물 제거 기능 탑재 가능

　(자동 블로우 및 수동 블로우)

제품 사양 스펙