제품 정보
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펠리클 검사장치
펠리클 검사장치
광학 카메라를 사용해서 펠리클에 부착한 이물을 검사, 제거를 자동으로 하는 장치입니다.
용도
펠리클 이물 검사 및 제거
특징
- SMIF 지원
- 콤팩트 케이스 대응
- 각종 카메라를 사용한 자동 검사
- 검사 후 육안 검사가능
- N2 블로우를 통한 자동이물질 제거
제품 사양 스펙
- 장비 크기
- 2500D×33500W×2800H
- 전원
- AC208V Φ3 60Hz 50KVA
- CDA
- 20L/min
- N2
- 100L/min
- 진공
- 20NL/min -80kPa
- 배기
- 20m3/min