제품 정보
PRODUCTS
외관검사장비
결함검사장비
FPD용 기판 Glass, 플렉시블 디바이스용 검사 장비
용도
대응 기판 사이즈
최소 100㎜×100㎜
최대 200㎜×300㎜
특징
- Glass 혹은 플렉시블 필름 등의 기판 표면의 상처, 갈라짐, 깨짐, 도포 막의 얼룩(MURA), 이물 등 결함 검사 가능
- 반사 방식, 투과 방식 모두 대응
- 분해능 2um～400um의 범위에서 검출 가능
- 기판 위에 도포 막의 막 두께 측정도 가능
- ※방식：분광간섭법