실리콘웨이퍼연삭기 양면연삭기

슬라이스 후의 실리콘웨이퍼의 양면동시연삭을 실시하는 장비

특징

웨이퍼를 세로로 두고, 양면을 동시에 연삭함으로써, 고평탄도를 실현

높은 Throughtput・낮은 COST를 실현