Pellicle Mounter

Pellicle (포토마스크용 방진필름)의 자동장착장비

특징

설정된 조건에 따라서 포토마스크의 Pellicle 장착을 전자동으로 실행

장착 후, 포토마스크 클린 로봇이 회수하여 원래의 카세트에 수납