FOSB / FOUP 자동포장장비 (MAP300)

자동패키징(MP) 300는 작업자가로 더 위치에 놓은 웨이퍼카세트 (FOSI)를 검사 영역으로 전송합니다.검사 영역에서는 호스트 통신을 수행하여 FOSI 검사를 수행합니다.검사 내용은 FOSB 타입, 웨이퍼 위치의 확인 및 매수 등을 검사합니다.포장 구역에서는 1중 또는 2중 포장을 해요.
종래 수작업으로 하던 육안 검사, 포장 작업을 자 동화하는 것으로 휴먼 에러의 저감, 작업 시간의 단축, 포장 품질의 균일화가 가능합니다.

특징

로더, 언로더의 저류 BOX 수는 유연하게 대응

투입, 취출에 저류수를 마련함으로써 오퍼레이터의 부담 삭감, 효율화 향상이 가능

BOX 종류, 내재하는 웨이퍼 수를 독자 기술로 검출, 확인이 가능

지정된 장소에 라벨을 붙일 수 있습니다.

포장내에 실리카겔의 투입, 탈기 포장이 가능

제품 사양 스펙