R to R 세정 장치

필름 (PET, PEN) ·극박 유리 등의 고 정밀플렉시블디바이스 세정 장치입니다.

특징

필름에 가해지는 압력을 조절하여 손상을 방지합니다.

CPC (Center Position Controller)로 사행 제어합니다.

레이저 마커를 사용하여 정렬 마크를 인쇄하는 것이 가능

기판상의 불순물 제거로서 엑시머 UV를 사용하여유기물 제거 가능

디스크 브러쉬,롤 브러쉬, 2유체 샤워 등 용도에 맞은 세척 도구 선택 가능

제품 사양 스펙