제품 정보
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유리 세정 장치
유리 세정 장치
평면 패널 (FPD)의 대형화, 고화질,고 정밀화를 위한 고품질의 세 정기를 제공하여 FPD 제조수율 향상에 공헌하고 있습니다.
용도
이니셜 세정, 공정간 세정, 파이널 세정 등의 각 공정에서 필요한 세정장치
현상・에칭・박리 등의 포토 프로세스 장치
특징
- 풍부한 납품 실적이 있으며, 대형, 초박형 등의 다양한 종류의 글래스 기판세정에 대응
- 대형기판의 반송 노하우가 있으며, G10 사이즈에 대응
- 초박형(0.005mm) 글래스 사이즈에 대응
- 디스크 브러시,롤브러시, 고압· 초고압 샤워, 2유체· 스팀 · 나노 버블 등, 목적에 맞는 세정 툴 선택이 가능
제품 사양 스펙
- 장비 크기
- 2500D×3350W×2800H
- 전원
- AC200/AC220V Φ3 50/60Hz 200KVA
- DIW
- 100L/min
- CDA
- 50L/min
- 배수 1
- 250L/min
- 배수 2
- 120L/min
- 배기 1
- 25m3/min×3계통
- 배기 2
- 5m3/min×3계통
G10용 세정기 참고 스펙