제품 정보
PRODUCTS
Wafer 세정장비
Batch-type 실리콘 Wafer 세정장비
투입/파이널(최종) 세정장비
용도
Batch-type Wafer 세정
대상 Wafer 사이즈 : ~300mm (12인치)
특징
- O3 / HF / SC1
- 실온세정 (O3 / 수소수세정)
- UFB (울트라파인버블/나노버블)
제품 정보
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Wafer 세정장비
투입/파이널(최종) 세정장비
용도
Batch-type Wafer 세정
대상 Wafer 사이즈 : ~300mm (12인치)
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