Wafer 세정장비

Batch-type 실리콘 Wafer 세정장비

투입/파이널(최종) 세정장비

용도

Batch-type Wafer 세정
대상 Wafer 사이즈 : ~300mm (12인치)

특징

O3 / HF / SC1
실온세정 (O3 / 수소수세정)
UFB (울트라파인버블/나노버블)

문의

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