High Resolution Inspection machine MEI Series
Reticle / Pellicle / Blanks inspection MEI-S30-A2

这是一种使用光学相机自动检查和清除附着在薄膜上的异物的设备。

特征

对整个十字线表面进行异物检查

　(Pellicle, Pellicalized Masks, Blanks, Backside)
　・颗粒/针孔/损伤/褶皱检测
　・检查区域可调
　・配备彩色显微镜验证审核模块

检测到的粒子可以被可视化

灵活的配方操作

高重复性

利用特殊光学系统（明场/暗场）进行高速多重扫描

仪器间测量结果具有很高的重复性

全自动（EFEM/OHT/多端口传输）

可安装氮气吹除异物功能

　(自动和手动吹风)

产品规格规范