减压干燥设备

在真空室中进行抗蚀剂涂布后进行干燥的设备

特征

干燥可以通过从缓慢排气到主排气的两级排气切换来抑制风模式和发泡的发生

通过在室温下干燥，可以减少销支撑的不均匀性

通过在减压下干燥，可以缩短烘烤过程的时间