产品信息

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涂布机

端面清洗设备（边缘冲洗）

用于清洗涂布后包覆基材端面和背面的涂层剂的设备

用途

抗蚀剂涂层后的清洗工艺
预烘烤工艺

特征

防止清洗液溅到基材表面的机理
通过与减压干燥设备结合使用可以改善端面清洗效果

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