烘烤设备

烘烤设备

涂布后干燥抗蚀剂和洗涤后干燥处理的设备

用途

抗蚀剂涂布后的干燥工艺
洗完工后的干燥工艺

特征

可以处理从单晶片系统到多阶段系统的各种规格
VCD·边缘清洗·CP也可以使用

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