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什么是超微细技研
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产品信息
光罩及玻璃基板加工设备
烘烤设备
烘烤设备
烘烤设备
涂布后干燥抗蚀剂和洗涤后干燥处理的设备
用途
抗蚀剂涂布后的干燥工艺
洗完工后的干燥工艺
特征
可以处理从单晶片系统到多阶段系统的各种规格
VCD·边缘清洗·CP也可以使用
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